Innovative Adsorbermaterialien für Schadstoffe aus der Halbleiterindustrie
Giftige und korrosive Gase wie SiH4, AsH3, PH3, HCI, NH3, NF3, und andere entstehen bei der Halbleiterfertigung und müssen aus der Abluft entfernt werden.
Unsere Schüttgüter werden in Festbettfilter-Adsorbern eingesetzt, den sogenannten "dry scrubber systems", die eine ebenso kostengünstige wie außerordentlich effektive Emissionskontrolle erlauben.
Sie bieten so klare Vorteile im gegenüber Wäschern und thermischen Verfahren:
Keine weiteren Reinigungsstufen für Abluft, bzw. Abwasser erforderlich.
Schadstoffe gehen mit dem Chemiesorbens eine stabile Verbindung ein und können das System nicht verlassen.
Systeme ohne Brenner oder Wascheinheit gewährleisten ausfallsicheren Betrieb.
